H14ミニプリーツHEPAフィルター付きファンフィルターユニット
適用分野
電子産業で広く使用されています: 半導体チップ製造室、LCDパネル生産ライン、精密PCB組立室。製薬およびバイオエンジニアリング: 無菌調製エリア、ワクチン生産ライン、バイオセーフティラボ (BSL-2/3)、無菌充填ライン。医療: 病院の手術室、無菌病棟、ICU、骨髄移植病棟。食品および飲料: 無菌包装エリア、プロバイオティクス生産ゾーン、乳製品発酵室。科学研究: 動物実験室、微生物学実験室、精密機器室。
FFU構造
ケーシング
材質:一般的にステンレス鋼または亜鉛メッキアルミニウム鋼板を使用し、防錆・防食表面処理を施しています。これらの材料は、構造強度、耐錆性、および粉塵発生の最小化を保証します。
機能:
サポートフレーム:FFU全体を構造的に支え、クリーンルームの天井グリッド(Tバー)にしっかりと埋め込むことを可能にします。
空気の流れ制御:ケーシングの内部設計(ガイドベーンなど)により、空気の流れを最適化し、乱流を低減し、フィルターを通過する空気の流れをより均一にすることができます。
電源部 – ファン
これはFFUの「心臓部」であり、通常は直結駆動式の後方湾曲型遠心ファン(ECファンまたはACファン)です。
モーターの種類:
交流モーター:交流モーターを使用し、電圧調整によって速度を制御します。構造がシンプルでコストも低いですが、エネルギー効率は比較的低く、制御精度も劣ります。
DCモーター:ブラシレスDCモーターを使用しています。これは現在最も主流なタイプです。高いエネルギー効率、長い寿命、低騒音、そして最小限の振動を実現します。
ECモーター:電子整流モーターは、DCモーターの先進的な形態です。ACモーターとDCモーターの両方の利点を兼ね備え、AC電源を直接使用しながら内部でDCに変換してモーターを駆動するため、非常に高いエネルギー効率と精密な制御性能を実現します。
特長:ファンはモーターに直接接続されているため、ベルト駆動が不要です。これにより、ベルトの摩耗による汚染を防ぎ、よりコンパクトな構造を実現し、メンテナンスも簡素化されます。
ろ過部 – HEPA/ULPAフィルター
これはFFUの「肺」にあたる部分で、空気中の微粒子をろ過する役割を担っています。
種類:FFUの大部分はHEPAフィルターを使用していますが、より厳しい要件を満たすにはULPAフィルターが使用されます。
インストール方法:
ゲルシール:フィルターフレームには、シーラントゲルが充填された溝があります。この溝がFFUケーシングのナイフエッジと嵌合することで、ゲル(ゼリー状のシーラントなど)による気密シールが形成されます。これは最も効率的で信頼性の高いシール方法であり、高度なクリーンルームで一般的に使用されています。
機械式クランプ+ガスケットシール:フィルターはバネまたはボルト機構によってケーシングに押し付けられ、その間にゴムまたはポリウレタン製のガスケットが挟まれます。この方法は比較的取り付けが容易で、コストも低く抑えられます。
その他の主要コンポーネント
制御ユニット:
個別制御:各FFUには、個別の風量調整が可能な独立した速度制御器(つまみまたはデジタル表示)が装備されています。
グループ制御システム:ネットワークまたはバス(RS485、イーサネットなど)を介して、数百または数千のFFUをまとめて監視、速度調整、アラーム管理する中央管理システムであり、インテリジェントな制御を可能にします。
プレフィルター:ファン吸気側に配置された、一次または中効率のフィルター。ファンを保護し、下流側の高価なHEPA/ULPAフィルターの寿命を延ばすことを目的としています。
エアフロー均等化プレート:HEPA/ULPAフィルターの下に配置された穴あきプレート。フィルターから排出される清浄な空気の流れをより均一かつ安定させ、乱流を防ぐのに役立ちます。
HEPAフィルターの効率
HEPAフィルター:0.3μm以上の粒子に対するろ過効率が99.97%以上。
ULPA:より高性能なフィルターで、0.1~0.2μmの粒子に対する効率は99.999%以上です。半導体やバイオセーフティ研究所など、超高水準の分野で使用されます。


フィルターの耐用年数
フィルター媒体に粉塵が蓄積すると、抵抗が増加します。抵抗が許容範囲を超えた場合は、フィルターを交換する必要があります。抵抗が過剰になると、以前に捕捉された粉塵が剥がれて気流に再流入する恐れがあります。このようなリスクが生じた場合も、フィルターを交換する必要があります。フィルターの抵抗は、気流速度が速いほど大きくなります。フィルター媒体の表面積を増やすことで、フィルターを通過する空気の相対速度を低下させ、抵抗を低減することができます。
標準フォーム

技術仕様

EC FFU

EC FFUパラメータ

備考:(1)初期抵抗許容誤差±10%(2)顧客サイズに対応


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