HEPAフィルターの選択

現在、99.9%～99.999999%の効率を持つHEPAフィルターが採用されています。HEPAフィルターの表面風速を適切に利用することで、効率性と全体的な経済効果を高めることができます。

同じ素材のフィルターであれば、効率が高く、耐性も大きいため、価格が高くなります。逆に、風圧の変化に対する耐性が変化すれば、効率と容量の変化に応じて、特定の状況に応じて合理的な選択ができます。

（１）一般原則としては、HEPAまたはULPAの効率が高いほど清浄度要件が高くなり、清浄度要件が低いほど効率の低いHEPAフィルターを使用する。

（２）粉塵量が多いと、フィルター効率が変化し、クリーンルームへの影響は小さいため、要求の低いクリーンルームの清浄度では高効率HEPAフィルターを使用すべきではない。

（３）粉塵含有量が低いため、クリーンルームの低風速でのHEPAフィルターの効率が高いほど明らかな利点があり、そのため、クリーンルームでは高効率フィルターを選択する際に、同時に風速と空気の量を厳密に減らす必要がある。

ろ過効率測定方法

（１）ナトリウム炎法：
噴霧されたNaCl溶液から発生するエアロゾルを粉塵源として使用し、粒子径は0.02～2μm、中央値は約0.6μm（中国では約0.5μmと測定されている）である。測定は光度計を用いて行われる。この方法は国際的には現在では使用されていない。中国ではまだ正式に廃止されていないものの、現在の要件を満たしていない。

（２）蛍光法およびオイルミスト法：
これらの方法はもはや使用されていません。

（３）米国軍事規格（Mil-Std 282）方式：
粉塵源は0.3μmの単分散DOP粒子で構成されており、測定には専用の機器であるQ-107貫入計が用いられる。この方法はフィルター抵抗も測定できるが、現在では旧式とみなされている。

（４）米国IESTガイドライン（IEST-RP-CC-007）に基づく方法：
離散粒子カウンター（OPCまたはCNC）を用いて、フィルターを通過する特定の粒子サイズの透過率を測定し、その効率を判定する。粉塵源はDOPエアロゾルであるが、特定の光学特性を満たしていればDOPに限定されない。エアロゾルは単分散性でも多分散性でも構わない。

(5) 欧州規格 EN 1822 (1998) 方法:
この方法も、離散粒子カウンター（OPCまたはCNC）を使用して、最も浸透しやすい粒子サイズ（MPPS）での浸透率を測定し、効率を決定します。そのため、MPPS法と呼ばれることがよくあります。可動プローブを使用してラインごとにスキャンし、局所的な浸透率と局所的な効率を取得し、それらを使用して全体の効率を計算します。粉塵源はDOPエアロゾルまたは代替物質であり、要件は方法（4）のものとほぼ同じです。

フィルターの最大透過率（MPPS）は、フィルター媒体の繊維径、充填密度、気流速度などによって決まるため、スキャン測定を行う前に、まずフィルター媒体のMPPS（一般的に0.1～0.3μm）を決定する必要があります。また、スキャンプロセスにより、フィルターのリークテストを同時に行うことも可能です。

評価：

方法（3）と（4）はいずれも粒子カウンターを用いて測定を行い、粒子カウンターの要件を満たす光学特性であれば、単分散エアロゾルでも多分散エアロゾルでも使用可能である。これは現在のトレンドを反映している。方法（4）はスキャン機能を備えており、漏洩検知にも対応できるため有利である。しかしながら、MPPSを用いることの実用上の意義はそれほど大きくないかもしれない。